言引：在当今科技飞速发展的时代，半导体产业无疑是全球经济和科技竞争的核心领域之一。从我们日常使用的智能手机、电脑，到工业自动化设备、汽车电子系统，再到人工智能、物联网等前沿科技应用，半导体芯片无处不在，它们如同 “数字时代的石油”，是现代电子设备运行的基础，更是推动技术创新和产业升级的关键力量。

近年来，半导体产业呈现出蓬勃发展的态势。根据世界半导体贸易统计组织（WSTS）的数据，2024 年全球半导体销售额达到 6834 亿美元 ，同比增长 22.23%，展现出强劲的复苏势头。进入 2025 年，这一增长趋势仍在延续，7 月全球半导体销售额达 620.7 亿美元，同比增长 20.6%，实现连续 21 个月正增长，全年市场规模预计将突破 7736 亿美元，同比增幅达 13.2% 。在需求端，人工智能、汽车电子、物联网等新兴领域对半导体的需求持续攀升，成为推动产业发展的主要动力。例如，随着 AI 技术的快速发展，对高性能计算芯片的需求呈爆发式增长，AI 服务器对算力芯片 GPU 的需求大幅提升；在汽车领域，智能化、电动化的发展趋势使得汽车对半导体的依赖程度越来越高，从自动驾驶芯片到电池管理系统，半导体芯片在汽车中的应用场景不断拓展。

在半导体制造过程中，磁悬浮无轴泵扮演着不可或缺的重要角色，尤其是在半导体湿法工艺环节。半导体制造对生产环境和工艺的要求极高，任何微小的杂质或污染都可能导致芯片质量问题，影响产品性能和良品率。磁悬浮无轴泵作为一种先进的流体输送设备，能够满足半导体制造对超洁净、高精度流体处理的严格需求。

那么，磁悬浮无轴泵究竟有何独特之处呢？它又是如何在半导体产业中发挥关键作用的？

应用大揭秘

在半导体制造的复杂工艺流程中，磁悬浮无轴泵凭借其卓越的性能，深度融入多个关键环节，成为保障生产顺利进行和产品质量的关键因素。

清洗环节：守护晶圆洁净的 “卫士”

清洗工艺贯穿半导体制造的始终，是确保晶圆表面洁净、无杂质的关键步骤。据统计，在整个芯片制造过程中，清洗步骤约占所有工序步骤的 30% 以上 ，其重要性不言而喻。半导体清洗需要使用大量的超纯水和腐蚀性化学试剂，对流体输送设备的洁净度、耐腐蚀性和稳定性提出了极高的要求。

磁悬浮无轴泵在清洗环节发挥着至关重要的作用。其无接触的运行方式，杜绝了机械摩擦产生的颗粒杂质，避免了对超纯水和化学试剂的污染，确保了清洗液的高纯度。同时，磁悬浮无轴泵具备精确的流量控制能力，能够根据不同的清洗工艺需求，精准地输送清洗液，保证清洗效果的一致性和稳定性。例如，在先进的 14 纳米及以下制程工艺中，对晶圆表面的颗粒污染物控制要求达到了极致，磁悬浮无轴泵能够稳定地提供高纯度的清洗液，有效去除晶圆表面的微小颗粒和杂质，为后续的制造工序奠定了良好的基础。

刻蚀环节：微观世界的 “雕刻大师” 助手

刻蚀是半导体制造中定义芯片电路图案的关键工艺，它通过去除晶圆表面不需要的材料，实现电路的精确构建。刻蚀工艺对流体输送的稳定性和精度要求极高，因为任何流量或压力的波动都可能导致刻蚀不均匀，影响芯片的性能和良率。

磁悬浮无轴泵能够为刻蚀设备提供稳定、精确的流体输送。其低振动、无脉动的特点，使得刻蚀过程中的反应气体和化学试剂能够均匀地分布在晶圆表面，保证了刻蚀的精度和一致性。以深硅刻蚀工艺为例，该工艺常用于制造微机电系统（MEMS）和 3D 芯片结构，需要在硅片上精确地刻蚀出高深宽比的沟槽和孔洞。磁悬浮无轴泵能够稳定地输送刻蚀气体和冷却液，确保刻蚀过程的稳定性和可控性，从而实现高精度的刻蚀效果，满足 MEMS 和 3D 芯片制造的严格要求。

显影环节：电路图案的 “显形使者” 助力

显影是将光刻胶上的潜影转化为可见图案的过程，是半导体制造中连接光刻和蚀刻的重要桥梁。在显影过程中，需要精确地控制显影液的流量和温度，以确保显影效果的准确性和一致性。

磁悬浮无轴泵凭借其精确的流量控制和良好的温度稳定性，成为显影工艺的理想选择。它能够根据显影工艺的要求，精确地输送显影液，保证显影液在晶圆表面的均匀分布，从而获得清晰、准确的电路图案。同时，磁悬浮无轴泵的高效节能特性，也有助于降低显影过程中的能耗，提高生产效率。例如，在先进的极紫外光刻（EUV）技术中，对显影工艺的精度要求极高，磁悬浮无轴泵能够稳定地提供高质量的显影液输送，确保 EUV 光刻后的电路图案能够准确地显影出来，为实现更高密度、更小尺寸的芯片制造提供了有力支持。

市场格局与发展态势

随着半导体产业的蓬勃发展，半导体用磁悬浮无轴泵市场也呈现出良好的增长态势。据 VMResearch的统计及预测 ，2024 年全球半导体用磁悬浮无轴泵市场销售额达到了 0.92 亿美元，预计 2031 年将达到 1.77 亿美元，2025-2031 年期间的年复合增长率（CAGR）为 10.0%。这一增长趋势反映了半导体行业对高精度、高可靠性流体输送设备的持续需求，以及磁悬浮无轴泵在满足这些需求方面的独特优势。

从地区分布来看，全球半导体用磁悬浮无轴泵市场呈现出多元化的格局。北美和欧洲作为半导体产业的传统强国和地区，在半导体用磁悬浮无轴泵市场中占据重要地位。北美地区拥有众多知名的半导体企业和科研机构，对先进半导体设备的研发和应用投入巨大，推动了磁悬浮无轴泵市场的发展。欧洲则在高端制造业和工业自动化领域具有深厚的技术积累，为磁悬浮无轴泵在半导体制造中的应用提供了良好的产业环境。

近年来，中国和东南亚等亚洲地区市场在半导体用磁悬浮无轴泵市场中的份额不断扩大，成为全球市场增长的重要驱动力。中国作为全球最大的半导体消费市场，近年来在半导体产业领域的投入持续增加，晶圆厂建设加速，对半导体设备的需求旺盛。2024 年，中国半导体用磁悬浮无轴泵市场规模达到 48.7 亿元 ，较上年同比增长 19.3%，预计 2025 年市场规模将攀升至 58.2 亿元，同比增长 19.5%。这一快速增长主要得益于国内晶圆厂扩产提速、先进制程技术迭代以及对高纯度、低振动、高可靠性流体输送设备需求的持续上升。同时，以江苏迈信林航天科技、成都易华芯电子科技、苏州科阳半导体设备有限公司为代表的本土企业，在核心技术攻关方面取得突破，逐步打破此前由日本荏原、美国 Flowserve 等外资企业主导的市场格局，国产替代进程显著加速 。

在东南亚地区，随着半导体产业的逐步转移和布局，当地对半导体用磁悬浮无轴泵的需求也在不断增长。马来西亚、新加坡等国家凭借其优越的地理位置、完善的基础设施和丰富的人力资源，吸引了众多半导体企业的投资设厂，为磁悬浮无轴泵市场的发展创造了良好的机遇。

日本作为半导体产业的强国，在半导体用磁悬浮无轴泵技术和市场方面也具有较强的竞争力。日本企业在材料科学、精密制造等领域的技术优势，为磁悬浮无轴泵的研发和生产提供了有力支持，其产品在全球市场上以高品质和高可靠性著称。

印度市场近年来也逐渐崭露头角，随着印度政府对半导体产业的重视和支持，加大了对半导体制造和研发的投入，印度半导体用磁悬浮无轴泵市场有望迎来快速发展的机遇 。

半导体用磁悬浮无轴泵市场在全球范围内呈现出良好的发展态势，各地区市场在半导体产业发展的带动下，需求持续增长。未来，随着半导体技术的不断进步和产业规模的进一步扩大，半导体用磁悬浮无轴泵市场有望继续保持增长趋势，市场竞争也将更加激烈，企业需要不断加大技术创新和市场拓展力度，以在市场中占据有利地位。

群雄逐鹿

在半导体用磁悬浮无轴泵这片充满机遇与挑战的市场中，众多企业纷纷角逐，形成了多元化的竞争格局。全球范围内，Levitronix、浙江启尔、盛奕半导体科技（无锡）有限公司、槃实科技等企业脱颖而出，成为市场的主要参与者 。

Levitronix 作为行业的先驱者，具有深厚的技术底蕴和丰富的市场经验。该公司成立于 2001 年，是苏尔寿（Sulzer）的子公司，其技术起源于瑞士联邦理工学院 (ETH) 在上世纪 80 年代末到 90 年代初开发的磁悬浮无轴承电机概念，并于 90 年代末实现商业化 。Levitronix 在半导体用磁悬浮无轴泵市场占据重要地位，产品以高稳定性和可靠性著称，广泛应用于半导体制造的各个环节，尤其是在对精度和洁净度要求极高的先进制程工艺中。例如，在台积电的 7 纳米及以下先进制程晶圆厂中，Levitronix 的磁悬浮无轴泵被用于 CMP 浆料分配和湿法清洗等关键工艺，为台积电的芯片制造提供了稳定、高精度的流体输送保障 。凭借其先进的技术和优质的产品，Levitronix 在全球半导体用磁悬浮无轴泵市场的份额长期保持领先，2023 年其市场份额约占全球的 35% ，是行业内的标杆企业。

浙江启尔是中国磁悬浮无轴泵领域的领军企业，专注于磁悬浮流体装备的研发、生产和销售。公司依托浙江大学的科研力量，在磁悬浮技术领域取得了多项关键突破，拥有自主知识产权的磁悬浮无轴泵核心技术 。浙江启尔的产品具有高效节能、低噪音、长寿命等优点，能够满足半导体制造等高端领域对流体输送设备的严格要求。在国内市场，浙江启尔与中芯国际、长江存储等知名半导体企业建立了紧密的合作关系。在中芯国际的 14 纳米制程生产线中，浙江启尔的磁悬浮无轴泵成功应用于清洗和刻蚀工艺，有效提高了生产效率和产品良率，得到了客户的高度认可 。通过不断的技术创新和市场拓展，浙江启尔在全球半导体用磁悬浮无轴泵市场的份额逐步提升，2023 年其市场份额达到了 25% 左右 ，成为行业内不可忽视的力量。

槃实科技（深圳）有限公司近年来在磁悬浮无轴泵领域异军突起，备受瞩目。公司成立于 2019 年，专注于磁悬浮技术在工业、尤其在泛半导体、生物医学和智能制造领域的应用。槃实科技凭借其强大的研发实力，成功突破了磁悬浮无轴承电机及相应的全栈技术，实现了磁悬浮无轴承泵的国产化替代，并且全部核心部件自研自产 。其产品具有无摩擦、超洁净、耐腐蚀、高安全性等优势，在半导体湿法制程领域得到了广泛应用，如湿法清洗、湿法刻蚀、电镀、CMP、批量化学输送等工艺环节 。2025 年 3 月，槃实科技携全系列磁悬浮无轴承泵产品首次亮相 SEMICON CHINA，其核心技术指标媲美国际竞品，自 2023 年量产以来，已在行业头部企业得到批量应用并获得高度认可 。目前，槃实科技已布局核心专利 100 余项，在深圳拥有研发及生产空间约 5000 平方米，并先后获得两轮数千万元融资 。尽管成立时间较短，但槃实科技凭借其创新的技术和优质的产品，在全球半导体用磁悬浮无轴泵市场迅速崭露头角，2023 年其市场份额达到了 15% 左右 ，展现出强劲的发展势头。

除了上述企业外，盛奕半导体科技（无锡）有限公司、宁波众杰来同、苏州苏磁、深圳市新凯来技术公司等也在半导体用磁悬浮无轴泵市场中占据一定的市场份额，它们通过不断的技术创新和产品优化，努力提升自身的市场竞争力，为客户提供更加优质、高效的磁悬浮无轴泵产品和解决方案 。

在全球半导体用磁悬浮无轴泵市场中，各大企业凭借各自的技术优势、产品特点和市场策略，在竞争中不断发展壮大。随着市场需求的持续增长和技术的不断进步，市场竞争将更加激烈，企业需要不断加大研发投入，提升产品性能和质量，以在市场中占据有利地位。同时，随着中国等新兴市场国家在半导体产业领域的快速发展，本土磁悬浮无轴泵企业有望迎来更多的发展机遇，进一步提升在全球市场的份额和影响力。

机遇与困境

在半导体产业蓬勃发展的大背景下，半导体用磁悬浮无轴泵行业迎来了诸多发展机遇，同时也面临着一系列严峻的挑战，机遇与困境交织，共同构成了行业前行的复杂态势。

机遇：产业东风，前景广阔

集成电路产业快速发展：作为半导体产业的核心，集成电路的技术进步和产能扩张对磁悬浮无轴泵产生了强劲的需求。随着芯片制程工艺不断向更小尺寸迈进，如从 14 纳米到 7 纳米，再到 3 纳米，对半导体制造过程中的流体输送精度和纯度要求也越来越高。先进制程工艺需要在极小的空间内构建复杂的电路结构，任何微小的杂质或流量波动都可能导致芯片性能下降甚至报废。磁悬浮无轴泵凭借其无接触、零颗粒污染、高精度流量控制等优势，能够满足先进集成电路制造对超洁净、高精度流体处理的严苛要求，成为集成电路产业发展不可或缺的关键设备。例如，在台积电的 3 纳米制程芯片生产线上，磁悬浮无轴泵被广泛应用于光刻、刻蚀、清洗等关键工艺环节，为实现芯片的高性能和高良率提供了重要保障 。

国产替代进程加速：近年来，随着国际贸易形势的变化以及国家对半导体产业自主可控的重视，国产替代成为半导体用磁悬浮无轴泵行业发展的重要机遇。在过去，半导体用磁悬浮无轴泵市场主要被国外企业垄断，如 Levitronix 等。但近年来，以浙江启尔、槃实科技为代表的国内企业在技术研发和产品性能上取得了显著突破，逐步打破了国外企业的技术封锁和市场垄断 。这些国内企业通过不断加大研发投入，攻克了磁悬浮无轴泵的关键技术难题，产品性能和质量逐渐接近甚至超越国际同类产品。同时，国内企业还具有本土服务优势，能够更快速地响应客户需求，提供更及时的技术支持和售后服务。在中芯国际、长江存储等国内晶圆厂的新建和扩产项目中，国产磁悬浮无轴泵的应用比例不断提高，国产替代进程显著加速 。这不仅降低了国内半导体企业对国外产品的依赖，提高了产业供应链的安全性和稳定性，也为国内磁悬浮无轴泵企业的发展提供了广阔的市场空间。

政策支持与产业集群效应：各国政府纷纷出台政策支持半导体产业的发展，为半导体用磁悬浮无轴泵行业创造了良好的政策环境。在中国，国家集成电路产业投资基金持续投入，带动了大量社会资本进入半导体制造及装备领域 。政府还出台了一系列税收优惠、研发补贴等政策，鼓励企业加大技术创新和产品研发力度。这些政策的出台，不仅促进了半导体产业的快速发展，也为半导体用磁悬浮无轴泵行业的发展提供了有力的政策支持。同时，半导体产业的集群效应也为磁悬浮无轴泵企业带来了发展机遇。在长三角、珠三角、京津冀等地区，形成了完善的半导体产业集群，集聚了大量的半导体企业、科研机构和人才资源 。磁悬浮无轴泵企业可以依托产业集群，实现资源共享、技术交流和协同创新，降低生产成本，提高生产效率，增强市场竞争力。例如，在上海张江高科技园区，汇聚了众多半导体企业和相关配套企业，浙江启尔等磁悬浮无轴泵企业在这里设立研发中心和生产基地，与上下游企业紧密合作，共同推动了半导体用磁悬浮无轴泵产业的发展。

困境：荆棘丛生，挑战重重

严格标准限制：半导体行业对产品的纯度和性能标准极为苛刻，这对磁悬浮无轴泵提出了极高的要求。在半导体制造过程中，任何微小的性能偏差都可能对晶圆产量和可靠性产生重大影响。例如，磁悬浮无轴泵在运行过程中如果产生微小的颗粒污染物，就可能附着在晶圆表面，导致芯片短路、开路等缺陷，降低芯片的良品率。因此，磁悬浮无轴泵必须满足严格的洁净度标准，如 SEMI F57 等 ，确保在超洁净环境中运行时不会产生颗粒污染。同时，磁悬浮无轴泵还需要具备高精度的流量控制能力，能够在不同的工艺条件下精确地输送流体，保证工艺的稳定性和一致性。然而，要满足这些高标准并非易事，需要企业在材料选择、结构设计、制造工艺等方面进行大量的研发投入和技术创新，这对企业的技术实力和研发能力提出了巨大的挑战。

技术成熟度不足：尽管磁悬浮无轴泵技术潜力巨大，但目前仍处于不断成熟和完善的阶段。在超洁净环境中证明其长期可靠性和一致性能，仍是推动该技术广泛采用的关键障碍。例如，磁悬浮无轴泵的磁悬浮系统在长期运行过程中，可能会受到温度变化、电磁干扰等因素的影响，导致悬浮稳定性下降，进而影响泵的正常运行。此外，磁悬浮无轴泵的维护和维修技术也相对复杂，需要专业的技术人员和设备，这增加了用户的使用成本和维护难度。因此，提高磁悬浮无轴泵的技术成熟度，增强其长期可靠性和稳定性，降低维护成本，是行业发展面临的重要任务。

成本高昂：在竞争激烈的半导体行业中，采用新技术往往需要承担高昂的前期成本。磁悬浮无轴泵的研发、生产和制造成本相对较高，这使得其产品价格也较为昂贵 。对于半导体企业来说，采购磁悬浮无轴泵不仅需要支付较高的设备采购费用，还需要投入大量的资金用于设备的安装、调试和维护。此外，由于磁悬浮无轴泵技术相对较新，市场上的供应商数量有限，缺乏充分的市场竞争，也在一定程度上推高了产品价格。因此，磁悬浮无轴泵替换现有系统的经济可行性，必须得到长期运营效益的充分证明。如何降低磁悬浮无轴泵的成本，提高其性价比，是企业在市场推广过程中面临的一大难题。

半导体用磁悬浮无轴泵行业在机遇与困境中前行，企业需要充分把握市场机遇，积极应对挑战，通过不断的技术创新和产品优化，提升自身的核心竞争力，以实现行业的可持续发展。

行业驶向何方

半导体用磁悬浮无轴泵行业正站在时代的风口浪尖，其发展既充满了无限的机遇，也面临着诸多挑战。从市场数据来看，全球半导体用磁悬浮无轴泵市场销售额在 2024 - 2031 年间预计将以 10.0% 的年复合增长率增长 ，中国市场规模在 2024 - 2025 年间也呈现出近 20% 的高速增长态势 ，这无疑表明行业正处于快速上升期，未来发展空间广阔。

展望未来，随着半导体产业向更高精度、更高性能方向发展，磁悬浮无轴泵在满足半导体制造对超洁净、高精度流体处理需求方面的重要性将愈发凸显。在技术创新方面，企业将继续加大研发投入，致力于提高磁悬浮无轴泵的技术成熟度，解决诸如长期可靠性、稳定性以及成本高昂等问题。例如，通过优化磁悬浮控制系统，提高叶轮悬浮的稳定性和精度，降低运行过程中的能耗和噪音；在材料科学领域，研发新型高性能材料，提高泵体的耐腐蚀性和耐磨性，延长设备使用寿命，同时降低生产成本。

在市场竞争格局方面，随着国产替代进程的加速，国内企业将在全球市场中扮演更加重要的角色。以浙江启尔、槃实科技为代表的国内企业，凭借在技术研发和产品性能上的突破，有望进一步扩大市场份额，打破国外企业的垄断局面。同时，市场竞争的加剧也将促使企业不断提升产品质量和服务水平，为客户提供更加优质、高效的解决方案。

半导体用磁悬浮无轴泵行业作为半导体产业的关键支撑，其发展不仅关系到半导体制造的技术进步和产品质量提升，也对全球高端制造业的发展具有重要意义。我们有理由相信，在行业内企业的共同努力下，半导体用磁悬浮无轴泵行业将迎来更加辉煌的明天，为推动半导体产业乃至全球科技进步做出更大的贡献。让我们拭目以待，见证这一行业在未来的精彩发展！

本报告关注全球与中国市场半导体用磁悬浮无轴泵的产能、产出、销量、销售额、价格以及发展前景。主要探讨全球和中国市场上主要竞争者的产品特性、规格、价格、销量、销售收益以及他们在全球和中国市场的占有率。历史数据覆盖2020至2024年，预测数据则涵盖2025至2031年。